半導體材料產業概述
材料和設備是半導體產業的基石,材料分布于整個半導體產業鏈的上游,產業規模大、細分行業多、技術門檻高、更新速度快,也是最容易“卡脖子”的環節。
2019年全球半導體材料市場營收為521億美元,較上一年相比略微下降1.1%。其中,中國大陸地區營收達88.6億美元,同比增長1.9%,也是全球唯一出現增長的材料市場。
半導體材料應用廣泛,主要包括集成電路(邏輯芯片、存儲芯片等)、光電子器件(光源、顯示器、光伏等)、分立器件和傳感器。其中,集成電路應用最廣泛,因為中國國產替代需求旺盛,2018年中國大陸的集成電路產業銷售額達6532億元,同比增長20.7%。隨著5G、物聯網、新能源汽車等下游市場的爆發,上游半導體材料亦大有可為,根據IC Insights預測,2016至2021年,整個IC市場年復合增長率為7.9%,其中汽車和物聯網帶來的增長率為13.4%和13.2%。
除了需求增長帶來的增量,國產替代帶來的存量市場也是重要的增長點。根據IC Insights預測,2023年中國大陸IC市場規模將達到2290億美元,但中國大陸IC產值僅470億美元,國產替代空間巨大。
制造一個半導體器件要用到多種材料,其中,硅片價值占比最高,約38%;其次是電子特氣和掩膜板,各占13%;光刻膠及其輔助材料合計占12%;CMP拋光材料占7%,雖然價值占比不高,但環節及其關鍵,一次制造過程可能需要幾十次拋光,而且拋光質量好壞將直接影響下一道工序的進程。
CMP即“化學機械拋光”,半導體器件通常要求達到納米級的平整度,要不然,各處電阻值不均,光刻也刻不準,目前最好的工藝是用化學(液體)和機械(墊子)結合起來的方式。在拋光這個工藝中,最重要的兩種材料是拋光液和拋光墊。拋光消耗的成本占比大概就7%,卻是半導體生產過程中重復次數最多的步驟,28納米制程的芯片,全程要12次拋光,現在芯片越來越小,到了10納米制程,拋光要重復30次,用掉30多種不同的拋光液。拋光墊的壽命也極低,通常45-75小時,屬于易耗品。
CMP材料行業規模及增速
2019年,全球拋光墊和拋光液的市場規模分別為7億美元和12億美元。預計全球CMP市場復合增長率約6%。隨著未來國內晶圓廠大幅投產,測算預計未來5年中國CMP市場規模增速可超10%,2023 年可達約30億元(約4.4億美元),其中,拋光液市場規模是拋光墊的1.7倍。
未來CMP材料增長可期,主要來自以下5個動力:
市場因素:5G、新能源汽車等新興產業本身的需求拉動。
資本因素:作為產業鏈稀缺資源的CMP材料,競爭優勢明顯,毛利率高,是資本必爭之地。比如安集科技的拋光液毛利率一直維持在55%左右,2020年三季度的銷售凈利率居然高達36.8%。
技術因素:隨著制程越來越先進,拋光次數也越來越多,前面提到,28nm工藝芯片要用到12次拋光,一旦進入到10nm,就要高達30次拋光。
政治因素:國產替代勢在必行。
產業鏈因素:晶圓制造產能持續向中國大陸轉移,目前中國大陸是僅次于中國臺灣、韓國的第三大生產基地,但增長率遠超前兩者。
CMP材料行業格局
(1)拋光液
拋光液由超細固體粒子研磨劑、氧化劑、表面活性劑、穩定劑等組成,納米級的固體粒子用于淹沒,氧化劑用于腐蝕溶解,從而實現化學機械相結合的拋光效果。難點在于,根據拋光需求不同,配方也不同,有用于硅、硅氧化物、銅的,有酸性的、踐行的,等等。所以,不斷嘗試,以及根據客戶需求不斷磨合所得到的配方,是主要的競爭壁壘。
前4大廠商皆為美日企業,市占率共65%,中國大陸的龍頭安集科技排第五名,占2%左右。安集科技是中國大陸目前唯一一家實現了130-28nm技術節點上的12英寸晶圓片用的拋光液的規模化銷售,14nm技術節點產品正在客戶認證中(總所周知,需要2-3年時間),10-7nm產品正在研發。
境外目前主流工藝是14nm,大陸境內是28nm(中芯國際),三星和臺積電則力推10-7nm工藝,而大陸龍頭安集科技目前的14nm產品還僅僅在客戶認證階段,可見和境外對手的差距。
(2)拋光墊
拋光墊一般由聚胺脂做成,有像海綿一樣的機械特性和多孔吸水特性,主要型號有 IC1000、IC1400、IC2000、SUBAIV等,其中IC1000和SUBAIV是用得最廣的。拋光墊表面包括一定密度的微凸峰,也有許多微孔, 不僅可以去除硅片表面材料,而且還起到存儲和運輸拋光液、排除拋光過程產物的作用。
拋光墊全球市場集中,前5大廠商占據91%的份額,目前中國大陸僅鼎龍股份有能力提供。鼎龍股份原為打印機耗材龍頭,但早早地就看到半導體材料的前景,從13年開始立項,熬到16年8月才完成建廠,一直到17年才拿到第一張訂單。2018年,鼎龍股份的CMP拋光墊賣出314萬元,2019年賣出1230萬元,2020年上半年賣出2102萬元,增長迅猛,但和巨頭比差距甚大。
而且因為專利壁壘,代表未來趨勢的12英寸晶圓用的開窗口拋光墊專利被美國公司占有,國內僅有DOW獲得授權生產銷售,鼎龍股份是從8英寸無窗口拋光墊入手,12英寸硅片用的拋光墊還處在客戶測試階段。
CMP材料產業鏈上下游情況
CMP產業鏈下游較為簡單,主要是各大主流晶圓廠。其中,中國臺灣的臺積電、聯電、力晶在銷售額上分列第1、3、6名,中國大陸代工龍頭中芯國際排第5位。雖然下游客戶集中,但不至于出現從下游“卡脖子”的情況,因為CMP材料廠商和下游晶圓代工廠是相互依存的,代工廠不能沒有CMP材料,而且進入供應鏈認證需要2-3年時間,一旦建立合作關系,晶圓廠也不愿意輕易更換,承擔沒必要的風險。
上游主要是研磨劑、化工材料、包裝材料供應商,CMP材料要求甚高,超細的研磨劑是重點,要求顆粒分布、直徑都要均勻,否則就會損傷硅片,包裝材料也不能含糊,必須使用高潔凈的塑料桶。所以優質的上游供應商依然在國際企業手中,主要是日本富士和美國Gabot。
行業壁壘
CMP材料所面對的共同壁壘主要有2個:技術壁壘和客戶認證。
(1)技術壁壘
在種類繁多的半導體材料子行業中,拋光墊、拋光液是最容易被“卡脖子”的領域之一,究其原因就在于,為了實現納米級的打磨技術,對拋光墊和拋光液的要求也極為嚴苛。而且隨著制程工藝越來越現金,對這兩種材料的技術要求也不斷提高,所以有“一代材料,一代產品”之說。
CMP拋光材料的技術更新動力源自下游晶圓的技術更新。晶圓制程不斷提高,從1971年的10微米發到現在的10納米、7納米甚至5納米。前面提到,境外主流工藝現在在14納米階段,而中國大陸晶圓代工龍頭中芯國際的最先進制程也就28納米。三星、臺積電已經實現10納米和7納米制程。為了追趕摩爾定律,制程工藝大約2年就能更新一次,往往是這邊的技術還沒趕上,那邊的新技術又出來了。為了滿足更細致的工藝,CMP材料也有著更高的要求。
當前集成電路要求全局平整落差100A°-1000A°(相當于原子級10-100nm)的超高平整度。
除此之外,試錯成本也成為了CMP材料的技術壁壘。拋光材料要不斷找到合適配方、穩定制作工藝及設計圖案,從而獲得較好的、穩定的拋光速率和拋光效果,所以企業研究CMP耗材時間成本較高,需要較長時間來試錯摸索工藝指標、產品配方等對物理參數及性能的影響結果,形成較深的Knowhow壁壘。
(2)客戶認證
半導體器件要求極高的良品率,所以一旦形成穩定的供應鏈體系,晶圓廠一般不太可能更換供應商。要進入晶圓廠供應鏈體系里,要經過審核、送樣、測試等環節,沒有2-3年是進不去的。但這也意味著,一旦進入供應鏈體系,將形成一條寬闊的護城河。
嚴格來說,半導體材料行業屬于成熟產業,各領域集中度高,巨頭林立,按理說沒有創業公司進入的可能,但在國產替代的大背景下,有技術實力的公司,如鼎龍股份、安集科技,只要能進入中芯國際等國內大廠的供應鏈體系,將成為穩定的賺錢機器。
幾家值得關注的非上市CMP材料公司
(1)拋光液
深圳力合:
成立于2003年,與清華大學深圳研究院有合作開發拋光液產品,并承擔了國家“十二五”等科技重大專項,實力不容小覷。公司主要提供新開發拋光液(玻璃基片拋光液、鈦基片拋光液、砷化鎵拋光液)、藍寶石拋光液、硅晶片拋光液和計算機硬盤基片拋光液4種產品。公司科研、資本背景雄厚,可能因此也沒有太迫切的上市打算。
上海新安納:
成立于2008年,是中科院上海微系統所聯合國內外研究機構、企業共同創辦的公司,也承擔了國家“十二五”重大專項,主要提供銅拋光液、硅片拋光液、藍寶石拋光液、LED芯片背面減薄拋光液。公司還往上游走,提供電子級二氧化硅納米材料,可以為安集科技提供研磨劑。
天津晶嶺:
成立于2005年,與河北工業大學微電子材料研究所有緊密合作,也承擔了國家“02重大專項”,提供的產品線廣泛,覆蓋集成電路、器件、光電材料等。
(2)拋光墊
蘇州觀勝:
全稱蘇州觀勝半導體科技有限公司,于2017年投入了拋光墊生產項目,雖然起步晚于鼎龍股份,但蘇州觀勝有臺資背景,股東臺灣智勝在聚氨酯領域已經積累了30多年的經驗,將聚氨酯應用到CMP領域也已經有15年的經驗,在這一領域已經積累了100多項專利技術。目前,蘇州觀勝野心勃勃,計劃5年內(即2022年之前)占領1/3市場份額,并成功上市。
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