首先要區別是什么物質的XRD圖譜，比如單晶、多晶（粉末）等.

峰高：

對多晶來說，峰高由同方向排列的晶面分布數量(texture)決定，即：若所有晶粒為同方向排列，則此時各個晶面的峰高要大于無規律排列的晶粒. 而同一圖譜中不同峰高則是由每個峰對應的晶面數量決定.

另外，如果樣品不為純晶體，而同時存在非晶體的情況下，不同XRD圖像同一位置角度對應的 ， 峰高不同則反映了晶體成分的多少.
晶體化程度越高，相應的峰越高.

峰寬：

一般分析最多的數值是FWHM(半峰全寬).
峰寬受很多因素影響：從儀器角度說，因素為所用X射線的波長分布，即使是單色X射線也不完全只有唯一確定波長； 從多晶樣品角度說，FWHM和晶粒大小成反比，即，晶粒直徑越小對應的FWHM越大, 具體計算可以參考Scherrer equation.

峰面積：也稱為integral intensity.

這個值同樣不是由某單一值決定，和樣品本身相關的量有：該峰對應晶面的數量，晶胞體積，晶粒體積，structure factor等.