1.1 半導體材料
硅器件在室溫下有較佳的特性,且高品質的硅氧化層可由熱氧化的方式生長,價格低廉,豐度僅次于氧,工藝發展最為完善。
砷化鎵適用于高速和光電器件。
1.2 基本晶體結構
晶格:晶體中原子的周期性排列
Si、Ge金剛石結構(兩個面心立方沿對角線),共價鍵、正四面體
只有釙(polonium)屬于簡立方結構
密度=每立方厘米中的原子數x每摩爾原子質量/阿伏伽德羅常數
密勒指數定義:
①找出晶面在直角坐標系中三個坐標軸上的截距(以晶格常數為單位)
②取三個截距值的倒數,并將其化為最小的整數比
③將此結果以“(hkl)”表示,即為這個晶面的密勒指數
1.3 共價鍵
一個自由電子產生的同時,會在共價鍵中留下一個空位,這個空位可以由鄰近的一個價電子填充,從而產生空位的移動,可以把這個空位抽象成類似于電子的一種粒子,這種虛構的粒子稱為空穴。
1.4 能帶
Si禁帶寬度1.12eV,對應波長nm
如果導帶底位于p=0處,這意味著晶體中電子的有效質量在每個晶向上都是相同的,同時,這也表明電子的運動情況與晶向無關。如果導帶底位于,那么晶體中電子的特性在不同晶向上是不統一的。一般來說,極性(含部分離子鍵特性)半導體中,導帶底傾向于出現在p=0處,這與晶格結構以及價鍵的離子性成分所占比例有關。
間接帶隙需能量Eg,動量
Pc
發光管二極管和半導體激光器需要直接帶隙半導體高效地產生光子。
1.5 本征載流子濃度
載流子:參與導電的電子和空穴
產生:①本征激發:電子從價帶躍遷到導帶,形成導帶電子和價帶空穴。
? ? ? ? ?? ②雜質電離:當電子從施主能級躍遷到導帶時產生導帶電子,當電子從價帶激發到受主能級時產生價帶空穴。
當半導體的溫度大于絕對零度時,就有電子從價帶激發到導帶中,同時,價帶中產生空穴,這就是本征激發,電子、空穴成對出現。
當半導體中的雜質數量遠小于由熱激發產生的電子和空穴時,這種半導體稱為本征半導體。
本征半導體中的電子濃度(即單位體積中的電子數),首先計算能量內的電子濃度。濃度n(E)由單位體積內允許的能態密度N(E)*電子占據此能量范圍的幾率F(E)的乘積得出。
? ? ? ,n的單位
,N(E)單位
一個電子占據能量為E的能態的幾率可由費米狄拉克分布函數得出:
k是玻爾茲曼常數,T是以開爾文為單位的絕對溫度,費米能級是電子占據率為1/2時的能級能量。
對于本征半導體而言,導帶中每單位體積的電子數與價帶中每單位體積的空穴數相同;即n=p=ni,ni稱為本征載流子濃度。
一定的半導體材料,其本征載流子濃度ni隨溫度上升而迅速增加;不同的半導體材料在同一溫度下,Eg越大,ni越小。
1.6 施主與受主
空穴是由于電子缺失產生的帶正電荷的“準粒子”。
有效雜質濃度是經過補償之后,半導體中的凈雜質濃度。
當半導體被摻入雜質時,半導體變成非本征的(extrinsic),而且被引入了雜質能級。
雜質原子成為晶格中的缺陷,破壞了晶格的周期性,帶隙內出現了原先被禁止的能級,換句話說,雜質原子將在帶隙中引入一個或多個能級。
非簡并半導體:費米能級至少比Ev高3kT,或比Ec低3kT。
簡并半導體:當摻雜濃度等于或高于相應的導帶或價帶有效態密度時,對于很高摻雜的n型或p型半導體,費米能級將高于Ec或低于Ev,這種半導體是簡并半導體。高摻雜的重要特點是禁帶寬度變窄效應。
完全電離情況下:電子濃度為,
同理,完全電離情況下:空穴濃度為,
以本征載流子濃度ni及本征費米能級Ei來表示電子和空穴濃度:
熱平衡情況下,上式對于本征和非本征、非簡并半導體都適用。
當溫度上升時,費米能級接近本征能級,即半導體變得本征化。
在低溫時,晶體中的熱激發不足以電離所有的施主雜質,有些電子被“凍結(frozen)”在施主能級中,因此電子濃度小于施主濃度。溫度上升之后,施主雜質能夠完全電離(n=Nd),當溫度繼續上升,電子濃度在一段很寬的溫度范圍內保持恒定,這段區域被稱為非本征區,然而,當溫度繼續上升至某一溫度值時,本征載流子濃度將增加得與施主濃度可比。超過此溫度后,半導體將本征化,本征化的溫度取決于雜質濃度和禁帶寬度。