量測(cè) metrology
常見(jiàn)的光刻量測(cè)有以下幾種
Thickness (厚度）
REG=registration=overlay=套刻
CD critical dimension 關(guān)鍵尺寸
Particle monitor
Thickness (厚度）
合適并且標(biāo)準(zhǔn)的膜厚為了標(biāo)準(zhǔn)尺寸服務(wù)，經(jīng)常見(jiàn)到的CD drift 好多是因?yàn)閠hickness變化.
REG=registration=overlay=套刻
不同半導(dǎo)體層次的對(duì)準(zhǔn)，
CD critical dimension 關(guān)鍵尺寸
常見(jiàn)的CD 結(jié)構(gòu)（feature）
line
space
contact hole
Particle monitor
